Motion & Vibration Control
運動控製與振動控製

 

菲克科技 Feinixs - 提(tí)供用於精密定位的高速I高精度I高(gāo)穩定性運動控製產品

Feinixs的產品係列主要(yào)包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控製產品,並提供配套的驅動控製器。

 

明立Meiritz - 一(yī)家生產隔(gé)振臺和光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平臺、超大型(xíng)平臺、無磁(cí)平臺、自由組合型平(píng)臺等(děng)等,主動除振平臺技術在國際間位居前(qián)列,在FPD領(lǐng)域集中的韓國,過(guò)關(guān)斬將,成為各大麵(miàn)板廠家設備的必選產(chǎn)品。已經在(zài)中國、韓(hán)國設立工廠,為當地(dì)客(kè)戶提供定製(zhì)化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶(hù)提(tí)供優質、有保障的(de)產(chǎn)品和服務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提(tí)供各種精密光機產品,包(bāo)括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列(liè)、鏡座、立(lì)柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C係列、導(dǎo)軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品(pǐn)係(xì)列主要包含:線性位移、旋(xuán)轉位移、垂直位移的運動控製產(chǎn)品,並(bìng)提供配套的驅動控製器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍⼴泛的精密線性(xìng)定位平臺, 用於實現精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉臺



    電動旋(xuán)轉臺用於精確控製旋轉角度和(hé)速度,用於進行精確的(de)位置定位、測試(shì)、測量和加工等工作(zuò)

 

  • • 電動升降臺



    電動升降臺為三維掃描提(tí)供了Z軸位移,靈巧的設計(jì)讓升降臺可(kě)以應用於空間受限的(de)場景。

 

  • • 運(yùn)動係統



    我們提供多軸的運動控製(zhì)係統,並確保係統精度(dù)。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版(bǎn)本、真空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控(kòng)製覆蓋:伺服電(diàn)機、壓(yā)電驅動、步進電機。

 

 

到(dào)目前為止,明立(Meiritz)積(jī)累的專業知識和專業能力已(yǐ)經生產了600多種被動隔(gé)振器,。隨著超高(gāo)精度製(zhì)造業需求的不斷增長,如半導體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中(zhōng)因振動帶來的問題。

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等(děng),主動隔振(zhèn)平(píng)臺技術在國際間(jiān)位居前列,在FPD領域集中(zhōng)的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國(guó)、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製(zhì)化服(fú)務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服務。

 

光學平臺係統

 

  • • AYA 係列-採用蜂窩結構桌麵的空氣彈簧式(shì)隔振裝置



    蜂(fēng)窩桌麵空氣彈簧式隔振裝(zhuāng)置,隔振性(xìng)能升級,機構多(duō)樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平(píng)行(háng)擺動機構增強了水平(píng)隔振性能。排除了垂直和(hé)水平各個方(fāng)向的細微振動,滿足幹涉儀和全息術(shù)等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能(néng)的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了麵板的輕量化但保持(chí)了高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學(xué)和激光實驗

 

工(gōng)作臺型光學隔振平臺

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型(xíng)空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價比、隔振性能和(hé)可(kě)操作性(xìng)的新型係列。
    ADZ-A係列是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性(xìng)能進一步增強,工作舒適性大(dà)大提高,並增加了更大的安裝麵板尺寸。此外,為了使安裝在隔振(zhèn)器上(shàng)的設備具有更(gèng)好的可操作性(xìng),有許多選項可供選擇。
    這些因(yīn)素(sù)共同創造了一(yī)種高性價比的隔振裝置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平臺(tái)

 

  • • AVT係列- 桌麵型(xíng)空氣彈簧隔振平臺



    AVT係列是一款用來配套(tào)精密儀器(qì)的高性能臺式隔振平臺(tái)
    此款(kuǎn)臺式減振平臺採用先進的空(kōng)氣懸架(jià)式隔振器(qì)。所有隔振功能都集成在一個緊(jǐn)湊的主機上(shàng)。共有16 種型號來應對不同的精密(mì)機器的(de)特徵和隔振需求(qiú),且能夠(gòu)簡易地構建出(chū)高性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌麵型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌麵型主動(dòng)隔振平臺
    該平臺可以控製三個維度(六個自由度(dù))的振動(dòng),同時連續監測負載臺的振動。通過內置的驅動器施加反向位(wèi)的(de)力,通過這種方式實現振動控製。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振係統的桌麵式鋼蜂窩表麵板空氣彈簧式隔振光學平臺
    隨著激光器本體和外(wài)圍設備的(de)小型化以及光(guāng)纖技術的改進,光學實驗通常(cháng)不需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一係列許(xǔ)多桌(zhuō)麵型隔振設備。AET係列將其(qí)與鋼蜂(fēng)窩表麵(miàn)板相結(jié)合,是小麵(miàn)積光(guāng)學實驗的理想隔振裝置。

    應用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的主動隔振係統



    六自由度主(zhǔ)動控製為所有自由度的振動提供出色的隔振(zhèn)、阻尼和定位性能
    MAPS 係列是一種(zhǒng)主動隔振裝置,它將所有必(bì)要的功能組合成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設備中(zhōng)。

    應用行業(yè):
    • 半(bàn)導體

 

  • • MRZ係列-主動式氣懸浮係統



    在MAPS係列的基礎上,我們開發了高(gāo)性能(néng)、合理的主動(dòng)氣動懸架係統MRZ係列!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式(shì)隔振器



    AP 係列產品是為精密儀器量身(shēn)定做,由低成本、最適合您精密儀(yí)器的隔振係(xì)統構成的。
    我們的隔振裝置(zhì),除了具有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越來(lái)越(yuè)多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置(zhì)與精密儀器直(zhí)接組裝,能夠滿(mǎn)足這類客戶(hù)需求的隔振裝置就是我們的 AP 係列。該係(xì)列(liè)產品不僅擁有優越的隔振性能,還具有強大的拓展(zhǎn)性。我(wǒ)們(men)的 AP係列產品可以為(wéi)您的精密儀器提供更為理想的(de)隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產(chǎn)品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡係統
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半(bàn)導體製造和精密加工
  • • 納米表麵分析
  • • 地(dì)震(zhèn)和防災

 

埃賽力達的LINOS®光機器件使用高精密度的工(gōng)程技術和高級的材(cái)料,可確保在科(kē)學研究和光子創新中,提供出色的穩定性、可調節(jiē)性和(hé)高性能。我們可以提(tí)供從Qioptiq®獲(huò)得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列(liè)、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移臺(tái),以及封閉的Tube-C係列、導(dǎo)軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和安(ān)裝板

埃賽力達(dá)的LINOS®麵包板和安裝板係列可以(yǐ)作為所有光學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提(tí)供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構,可用(yòng)於(yú)實驗裝置(zhì)中嚴格的光控製。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式係統(tǒng)

Microbench屬於(yú)原(yuán)先的籠式光機係列,小巧緊湊,可精確居中,易於(yú)集成和擴展(zhǎn)。LINOS® Microbench擁有全麵的光學和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的(de)一部分。經過優(yōu)化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種(zhǒng)底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座,可滿足科學(xué)領域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有(yǒu)多(duō)種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和未安裝的光學(xué)器件或稜鏡的支(zhī)架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構(gòu)建係列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊(jǐn)湊。

 

LINOS調整架

埃賽(sài)力達提供種類豐富的精密(mì)LINOS®調整(zhěng)架,包括手動調節、線(xiàn)性調節、X-Y位移臺、旋轉位移臺和測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導(dǎo)軌係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學工作臺和光束轉向係統。堅固的鋁合金上的軸承表麵經過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌係統成為(wéi)線性、平麵甚至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式係統

埃賽力達還提(tí)供了封閉的模塊化LINOS管式係統,用於要求較高的不透光、無塵(chén)的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機係統的補充。

 

菲克(kè)科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高(gāo)精度I高(gāo)穩定性運動控製產品

Feinixs的產品係列主要包含:線性位移、旋轉位(wèi)移、垂(chuí)直位(wèi)移的運動控製產品,並提供配套的驅動控製器。

 

明立Meiritsu - 一家生產隔振臺和光學麵包板的製造商

產品(pǐn)涵蓋光學平臺、超(chāo)大型(xíng)平臺(tái)、無磁平臺、自由組合型平(píng)臺等等,主動除振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領(lǐng)域集中(zhōng)的韓國,過關斬(zhǎn)將,成為各大麵板(bǎn)廠(chǎng)家設備的(de)必選產品。已經在(zài)中國、韓國設立工廠,為當地(dì)客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客(kè)戶(hù)提供優質、有保障的產品(pǐn)和(hé)服務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各種精密(mì)光機產品,包括(kuò)Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移臺(tái),以及封(fēng)閉的Tube-C係列(liè)、導軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

Feinixs的(de)產品係列(liè)主要包含:線性位移(yí)、旋轉(zhuǎn)位移、垂直位移的(de)運動控製產品,並提供配(pèi)套的驅動控製器。

 

  • • 電動平移(yí)臺



    電動平移臺涵蓋了範圍⼴泛的精密線性定位平臺, 用於(yú)實現精確平移運動。

 

  • • 電動旋(xuán)轉(zhuǎn)臺



    電動(dòng)旋轉臺用(yòng)於精確控製旋轉角度和速度,用於進行精確的(de)位置定位、測試、測量和加工等(děng)工作

 

  • • 電動(dòng)升降臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸位移,靈巧的設計讓升降(jiàng)臺可以應用於空間受限的場景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運(yùn)動控製係統,並確保係統精(jīng)度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本(běn)、真空版本。

 

  • • 控製(zhì)驅動



    我們驅動控製覆蓋:伺服電機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到目(mù)前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業(yè)能力已經(jīng)生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業(yè)需(xū)求的不斷增長,如半導體,明立(Meiritz)也推出(chū)了主動型的隔(gé)振器,來解決製造或實驗過程中因(yīn)振動帶來的問題。

產品涵蓋光學平臺、超大型平(píng)臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動隔振平臺(tái)技術在國際間(jiān)位居前列,在FPD領域(yù)集中的韓國,過(guò)關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國(guó)、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認(rèn)證,為客戶提供(gòng)優質、有保障的產品(pǐn)和服務。

 

光學平臺係統

 

  • • AYA 係列-採用蜂窩結構桌麵的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂(fēng)窩桌麵空氣彈簧式隔振裝置,隔振性能升(shēng)級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專(zhuān)有的平行擺動機構增強了水平隔振性能。排除了垂直和水平各個方向的細(xì)微振動(dòng),滿足幹涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置(zhì),通過蜂窩麵包板改善了麵板的輕量化但保持了(le)高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗(yàn)

 

工作臺型光學隔振平臺

 

  • • ADZ-A 係列(liè)- 桌(zhuō)子型空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價(jià)比、隔振性能和可操作性的新型係列。
    ADZ-A係列是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔(gé)振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝麵板尺寸(cùn)。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共(gòng)同創造(zào)了一種高性價比(bǐ)的(de)隔振裝置,無論設備類型(xíng)或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平臺

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧隔振平臺



    AVT係列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平(píng)臺
    此款臺式減振平臺採用先進的空氣(qì)懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的(de)精密機器的(de)特徵和隔振需求(qiú),且能夠簡易地構建出高性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌麵型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌麵型主動隔振(zhèn)平(píng)臺
    該平臺可以控製三(sān)個維度(六個自由(yóu)度)的振動,同時連續監測(cè)負載臺的振動。通(tōng)過內置的驅動(dòng)器施加反向位的力,通過這種方式實現振動控製。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼(gāng)蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振係統的桌(zhuō)麵式鋼蜂窩表(biǎo)麵板空(kōng)氣彈簧式隔振光(guāng)學平臺
    隨著激光器本體和(hé)外圍設備的小型化以及光纖技術的(de)改進,光學(xué)實驗通常不需要像(xiàng)過去那樣長的光路(lù)。Meiritsu Seiki一(yī)直在(zài)提供(gòng)一係列許多桌麵型隔振設備。AET係列將其與鋼蜂窩表麵板相(xiàng)結合,是小麵積光學實(shí)驗的理想隔振裝(zhuāng)置。

    應用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控(kòng)製的主(zhǔ)動隔振係統



    六自由度主動控製為所有(yǒu)自由度的振(zhèn)動提供出色(sè)的隔振、阻(zǔ)尼(ní)和定位性能
    MAPS 係列是一(yī)種(zhǒng)主動隔振裝置,它將所有必要(yào)的功能組合成一(yī)個(gè)緊湊的裝置,因此可以(yǐ)很(hěn)容易(yì)地集成到客戶的設(shè)備中。

    應用行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ係列-主(zhǔ)動式氣(qì)懸浮係統



    在MAPS係(xì)列的基(jī)礎(chǔ)上,我們開發了高性能、合理的主動氣動懸(xuán)架係統MRZ係列!

    應用行(háng)業(yè):
    • 測量
    • 半導(dǎo)體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品是為精密儀器量身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振係統構成的。
    我(wǒ)們的隔振裝置,除了具有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器(qì)需要(yào)將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶(hù)需求的隔(gé)振裝(zhuāng)置就是我們的 AP 係列。該係列產品不僅擁有優越的隔振性(xìng)能,還具有強大的拓展性。我們的(de) AP係(xì)列產品可以為您(nín)的精密儀器提供更為理想的隔(gé)振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔(gé)振產品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡係統
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量(liàng)和稱重儀(yí)器
  • • 半導體製造和精密加工
  • • 納米表麵分析
  • • 地震和(hé)防災

 

埃賽力達的LINOS®光機器(qì)件使用高精密(mì)度的工程技術和高級的材料,可確保在科學(xué)研究和光子創(chuàng)新中,提(tí)供(gòng)出色的穩定性、可調節性和(hé)高性能。我們可以提(tí)供從Qioptiq®獲得的各種(zhǒng)精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡(jìng)座、立柱、支架和位移(yí)臺,以及封閉的Tube-C係(xì)列、導軌係列和耐(nài)用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板係列可以作為所有光學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達(dá)是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光(guāng)圈、針孔和狹縫結構,可用於(yú)實驗裝置(zhì)中嚴格的光控(kòng)製。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式係統

Microbench屬於(yú)原(yuán)先的(de)籠式光機係列,小(xiǎo)巧緊湊,可精確居中,易於集成(chéng)和擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的光學和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經(jīng)過優化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座(zuò)

鏡座是光學組件中不可或缺的(de)元件(jiàn)。埃賽力達(dá)提(tí)供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和(hé)LINOS Adjust.X係列鏡座,可滿足科學領域和(hé)工業領域的廣(guǎng)泛需求。

 

LINOS底座和(hé)立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓(yuán)柱形元件的支架,以(yǐ)及用於已安裝和未(wèi)安裝的光學器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統(tǒng)是一種精密的構建係列,其光束(shù)直徑最大為½",尺寸(cùn)比LINOS Microbench係統更加緊(jǐn)湊(còu)。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種(zhǒng)類豐富的精密LINOS®調整架,包(bāo)括手動(dòng)調(diào)節(jiē)、線性調節、X-Y位移(yí)臺、旋轉位移臺(tái)和(hé)測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學(xué)工作臺和光束轉向係統。堅固的鋁合金上的軸(zhóu)承表麵經過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌係統(tǒng)成為線性、平麵(miàn)甚至(zhì)3維結(jié)構的理想基座。

 

LINOS管式係統

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式(shì)係統,用於要求較高的不透光、無塵的(de)實(shí)驗裝置,這是(shì)對(duì)我們的LINOS® Microbench和Nanobench開(kāi)方(fāng)式籠式光機係統(tǒng)的(de)補充。

概覽 菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速、高精度、高穩定性(xìng)運動控製產品 明立Meiritz - 一家生產隔振臺和光學麵包板的製造商 EXCELITAS - LINOS - 精密光機產(chǎn)品
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