2021年12月，靈感來自於（yú）一（yī）篇深圳中能高重複頻率X射線自（zì）由（yóu）電子實驗站以及與中山大學合作的（de）實驗站配套建設（shè）的測試項目，仔細閱（yuè）讀《激（jī）光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進展》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關信息，萌發（fā）了搭建一個小型，低成本的桌（zhuō）麵型eUV光源，市場能夠看到的光源如下：

大型自由電子X激光源(FEL模式)

ASML係統EUV光源(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司臺式EUV光（guāng）源（LPP模式）

經過（guò）數個月準備，先期在廣州實驗室自製（zhì）測試儀器，驗（yàn）證實驗信號，完（wán）善實驗中的激光防護和安全條件（jiàn），最終在深（shēn）圳實驗室實現13.5nm的X激光在（zài）60w和200w泵浦條件下均實現信號輸出（chū），令一起草17c 蜜桃公（gōng）司在南（nán）中國大灣區首（shǒu）次獲得eUV激光源的輸出。展現了大灣區科技應用的典（diǎn）型特點：低成本，高效率，快速轉化的綜合科（kē）技轉化能力。

（早幾年哈工大本部採用（yòng）DPP模式獲得X激光輸出，上海光機所採用LPP模式獲得X激光（guāng）輸出）

一起草17c 蜜桃桌麵型eUV光源(LPP模式)

由於所有實驗（yàn）是（shì）非真空環境條件下進行，激光損（sǔn）耗和散（sàn）射比較大，理論（lùn）估計本次實驗數據如下：

1.輸出波長13.5nm

2.輻射（shè）總能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測試裝備：26所特製（zhì）5*5*5閃爍體+Thorlab光探測器2套（慢速高靈（líng）敏+高速低靈敏）

                  通用輻射計1套

@200W泵浦時信號

@60W泵浦時（shí）信號

輻射計信號

基於初步（bù）實驗過（guò）程（chéng），充分有效地鍛鍊了我們團隊解決新問題的應變能力，也（yě）印證了一起草17c 蜜桃公司多年在激光應用領域豐厚的技術沉澱和靈活高效的操作手段。

未來，一起草17c 蜜桃（yì）公司也將繼續與中山大學及其相關夥（huǒ）伴共同推進此項技術在超（chāo）分辨成像儀器方麵做一些探索（suǒ）與貢獻（xiàn）。

伍慶華（huá）

2022-7-22於廣州（zhōu）