Motion & Vibration Control
運動控製與振動控製

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度I高穩定性(xìng)運動控製(zhì)產(chǎn)品

Feinixs的產品係(xì)列主要包含:線性位移、旋轉位(wèi)移、垂(chuí)直位移的運動控製產品(pǐn),並提供配套的驅動(dòng)控製器。

 

明立Meiritz - 一家生產隔振台和(hé)光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平台、超大型平台、無磁平台、自由組合型平(píng)台等等,主(zhǔ)動除振平台技術在國(guó)際間位居前列,在FPD領域(yù)集中的韓國,過關斬將,成為各大(dà)麵板廠家(jiā)設備的必選產品。已經在中(zhōng)國、韓國設立(lì)工(gōng)廠,為當地客戶提供(gòng)定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為(wéi)客戶提供優質、有保障的產品和服務(wù)。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和(hé)位移台,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和耐用的(de)X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品係列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂(chuí)直位移的運動控製產品(pǐn),並提供配套的驅(qū)動控製器。

 

  • • 電動平移台



    電動平(píng)移台涵蓋了範圍⼴泛的精(jīng)密線性定位平台, 用於實現精確平移運(yùn)動。

 

  • • 電動(dòng)旋轉台(tái)



    電動旋轉台用於精確控製旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測量和加(jiā)工等工作

 

  • • 電動(dòng)升降台



    電動升降台(tái)為三維掃描提供了(le)Z軸位移,靈巧(qiǎo)的設計讓升降台可以應用於空間(jiān)受限(xiàn)的(de)場景。

 

  • • 運動係統(tǒng)



    我們提供多(duō)軸的(de)運動控製係統,並確保係統精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽(xiù)鋼版本、真空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控製覆蓋:伺(sì)服(fú)電機、壓電(diàn)驅動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業能力已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業需求的不斷增長,如半導(dǎo)體,明立(Meiritz)也推出了主(zhǔ)動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中因振動帶(dài)來的問題(tí)。

產品涵蓋光學平台、超大型平台、無磁平台、自由組合型平(píng)台等等,主動(dòng)隔振平台技術在國際(jì)間位(wèi)居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立(lì)工廠,為(wéi)當地客戶提供定(dìng)製化服務。公(gōng)司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和(hé)服務。

 

光學平台係統

 

  • • AYA 係列-采(cǎi)用蜂窩結(jié)構桌麵的空氣彈(dàn)簧式隔振裝置



    蜂窩(wō)桌麵空氣彈簧式隔振(zhèn)裝置,隔振性能升級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構增強了水平(píng)隔振性能。排除(chú)了垂(chuí)直和水(shuǐ)平各個方向的細微振(zhèn)動,滿足幹涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構(gòu)的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂(fēng)窩麵包板改善了麵板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工作台型光學(xué)隔振平台

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型空氣彈簧隔振平台



    兼具性價比、隔振性能和可操作(zuò)性的(de)新型係列。
    ADZ-A係列(liè)是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性(xìng)能進(jìn)一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了(le)更大的安(ān)裝麵板尺(chǐ)寸。此外,為了使安裝(zhuāng)在隔振器(qì)上的設備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的隔振裝(zhuāng)置,無論設備類型或(huò)使用(yòng)場所如何,都可以使用。

    應用(yòng):


 

桌麵型隔(gé)振平台

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧隔振(zhèn)平台



    AVT係列是一款用來配(pèi)套精(jīng)密儀器的高(gāo)性能(néng)台式隔振平台
    此款台式減振平台采用先進的空氣懸架式(shì)隔振器。所有隔振功能都(dōu)集成在一個緊湊的主機(jī)上。共(gòng)有16 種型號(hào)來應對不同的精密機器的特征和隔振需(xū)求(qiú),且能夠簡易地構建出高(gāo)性(xìng)能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌麵(miàn)型主動(dòng)隔振(zhèn)平(píng)台



    三維(六自由度)桌麵型主動隔振平台
    該平台可以控製三個維度(六個自由度)的振動,同時連續監測(cè)負載台的振動(dòng)。通過內置的驅動器施加反(fǎn)向位的力,通(tōng)過這種方式實現振動控製(zhì)。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼蜂窩空(kōng)氣懸架(jià)隔振平台



    集成(chéng)了高性能隔振係統的桌麵式鋼蜂窩表麵板空(kōng)氣彈(dàn)簧式(shì)隔(gé)振(zhèn)光(guāng)學平台
    隨著激光器本體和外圍(wéi)設備的小型化以(yǐ)及光(guāng)纖技術的改進,光學實驗通常不(bú)需要像過(guò)去那樣長(zhǎng)的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一係列許多桌(zhuō)麵型隔振設備。AET係列將其與鋼蜂窩表麵板相結合,是小麵積(jī)光學實驗的理想隔振裝置。

    應用(yòng):



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的主動隔振係統



    六自由度主動控製為所有自由度的振動提供出(chū)色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 係列是一種(zhǒng)主動隔振裝置(zhì),它將所有必要的功能組合成一個緊(jǐn)湊的裝置,因此可以(yǐ)很容易地集(jí)成到客戶的設備中。

    應用(yòng)行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ係列-主動式(shì)氣懸浮係統



    在MAPS係列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主(zhǔ)動氣動懸架係統(tǒng)MRZ係列!

    應用(yòng)行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡(jìng)、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品是為精(jīng)密(mì)儀器量身定做,由低成本(běn)、最適合您精密(mì)儀器的隔振係統構成(chéng)的。
    我們的隔振裝置(zhì),除了具有(yǒu)優秀的性能外,更重視(shì)產品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器需要(yào)將(jiāng)最匹配的隔振裝(zhuāng)置與精密儀器直接組裝,能(néng)夠滿足這類客戶需求的(de)隔振裝置就是(shì)我們(men)的 AP 係列。該係列產品不僅擁有優越的隔振性能,還具有強大的(de)拓展性(xìng)。我們的(de) AP係列產品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環境(jìng)。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明(míng)立的(de)隔振產品廣泛應用於下列(liè)領域:

  • • 顯微鏡係統(tǒng)
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體製(zhì)造和精密加工
  • • 納米表(biǎo)麵分析
  • • 地(dì)震和防災(zāi)

 

埃賽力達的(de)LINOS®光機器(qì)件使用高精密(mì)度的工程技術(shù)和(hé)高級的材料,可確保在科學研究和光子創新中,提(tí)供出色的穩定性(xìng)、可調節性和高性(xìng)能(néng)。我們可以提供(gòng)從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支(zhī)架和(hé)位移台,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵(miàn)包板(bǎn)和安裝板

埃賽力(lì)達的LINOS®麵包板和安裝板(bǎn)係列可(kě)以作為所(suǒ)有光(guāng)學實驗裝置的開端。

 

LINOS可(kě)變光圈

埃賽力達(dá)是Qioptiq®的一員,可(kě)提供多種(zhǒng)精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構,可用於實驗裝置中嚴(yán)格(gé)的光控製。

 

LINOS Microbench光機(jī)工作(zuò)台籠式係統(tǒng)

Microbench屬於原先的籠式光(guāng)機係列,小巧(qiǎo)緊湊,可精確居中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的光學(xué)和(hé)機械(xiè)部件,是(shì)許多光機裝置不可缺(quē)少的一部分。經過優化,可搭配使用從18到31.5毫(háo)米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組件中不可或缺的(de)元件。埃賽(sài)力達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座,可(kě)滿足(zú)科學領域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力(lì)達有多種LINOS®底座、立柱(zhù)和支架,包(bāo)括用於矩形和圓柱形元件的支架,以(yǐ)及用(yòng)於已安裝和未安裝的(de)光學(xué)器件或(huò)棱鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構建係列,其光束直徑(jìng)最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊湊。

 

LINOS調整架(jià)

埃賽力(lì)達提供種類豐富的精(jīng)密LINOS®調整架,包(bāo)括手動調節、線性調節、X-Y位移(yí)台、旋轉位移台和(hé)測角儀,測角儀有(yǒu)多種調(diào)節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學工作台(tái)和光束轉向係統(tǒng)。堅固的鋁合金上的軸承表麵經過精密銑削,並(bìng)進行了耐磨的(de)黑色或無色(sè)陽極氧化處理,使這些導軌(guǐ)係統成為線性、平麵甚(shèn)至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式係統

埃賽力(lì)達(dá)還提供了封閉的模(mó)塊化LINOS管式係統,用於要求較高的不透(tòu)光、無塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機係統的補充。

 

菲克科技(jì) Feinixs - 提供用於精(jīng)密定位的高(gāo)速I高精度(dù)I高穩定性運動控製產品

Feinixs的產品(pǐn)係列主要包含:線性位移、旋轉位移(yí)、垂直位移的運動控製(zhì)產品,並提供配套(tào)的驅動控製器。

 

明立Meiritsu - 一(yī)家生產隔振台和光學麵(miàn)包板的製造商

產品涵蓋光(guāng)學平(píng)台、超大型平台、無磁平台、自由組合型平台(tái)等等(děng),主動除振(zhèn)平台技術在國際間位居前列,在FPD領域集(jí)中的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國(guó)、韓國設立工廠,為當地(dì)客戶提供定製化服務。公司(sī)通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的(de)產(chǎn)品和服(fú)務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品(pǐn)

提供各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移台,以及封閉的Tube-C係列(liè)、導(dǎo)軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品(pǐn)係列(liè)主要包含:線性位移、旋轉位(wèi)移、垂直位移的運動控(kòng)製產品(pǐn),並提供配套的驅動控製器。

 

  • • 電動平移台



    電動平移台涵蓋了範圍⼴泛(fàn)的精密線性定位平台, 用於實現精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉台



    電動(dòng)旋轉台用於精確控製旋轉角度和速度(dù),用於進行精確的位置定(dìng)位、測(cè)試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降(jiàng)台



    電動升降台(tái)為(wéi)三維掃描提供(gòng)了Z軸位移,靈巧的設計讓升降台(tái)可以應用於空間受限的場景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運動控製係統,並確保(bǎo)係統精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控製覆(fù)蓋:伺服電(diàn)機(jī)、壓電驅動、步進(jìn)電機。

 

 

到目前(qián)為(wéi)止(zhǐ),明(míng)立(Meiritz)積累的專業知識(shí)和專業能力已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業需求的(de)不斷增長,如半導體,明立(Meiritz)也(yě)推出了主動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中因振(zhèn)動帶來的問題。

產品涵蓋光學平台、超大型(xíng)平台、無磁平台、自由組合型平台等等,主動(dòng)隔振平台技術在國際間位居前列,在(zài)FPD領域集中的(de)韓國,過關斬將,成為各大麵(miàn)板廠家設備(bèi)的必(bì)選產品。已經在中國(guó)、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服(fú)務。

 

光學平台係統

 

  • • AYA 係列-采用蜂窩結構桌麵(miàn)的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩(wō)桌麵空氣彈簧式隔(gé)振裝置,隔振性能升級,機(jī)構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構(gòu)增強(qiáng)了(le)水平隔振性能。排除了垂直(zhí)和水平各個方向的細微(wēi)振動,滿足幹涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進(jìn)。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了麵板的輕量化但保持了高剛性(xìng)的特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工作台(tái)型光學隔振平台

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型空氣(qì)彈簧隔振平台



    兼具性價比、隔振性(xìng)能(néng)和可操作性的新型係列。
    ADZ-A係列是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性能進一步(bù)增強,工作舒適性(xìng)大大提高,並增加了更大的安裝麵板尺寸。此外,為了使(shǐ)安裝在隔振器上的設(shè)備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的隔振裝置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平台

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧(huáng)隔振平台



    AVT係列是一款用來配套精密儀器(qì)的高性能台式隔振平台
    此款台式減振平台采用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一(yī)個緊湊的主機(jī)上。共(gòng)有16 種型號來應對不同的精密機器的特征和隔振需求,且能夠(gòu)簡易地構建出高性能的隔振環境。

    典(diǎn)型應用:

  • • ME係列-桌(zhuō)麵型主動隔振(zhèn)平(píng)台



    三維(六自(zì)由度)桌麵型主動隔振平台
    該平台可以(yǐ)控製三(sān)個維度(六個自由度)的振動,同時連(lián)續監測負載台的振動。通過內置的驅動器施加反向位的力,通過這種方式實現振動控製。

 

  • • AET係(xì)列- 桌麵(miàn)式(shì)鋼(gāng)蜂窩空氣(qì)懸架(jià)隔振平台



    集成了高性能隔振係統的桌麵式(shì)鋼蜂窩表(biǎo)麵板空氣彈簧式隔(gé)振光(guāng)學平(píng)台
    隨著(zhe)激光器本體和外圍(wéi)設備的小(xiǎo)型化以(yǐ)及光纖技術的改進,光學實驗通常不需要像過去那樣長的光(guāng)路。Meiritsu Seiki一直在提供一(yī)係列許多桌麵型隔振(zhèn)設備。AET係列將其與鋼蜂窩表麵板相結合,是小麵(miàn)積光學實驗的理想隔振裝置。

    應(yīng)用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的(de)主動(dòng)隔振係統



    六自由度主動控(kòng)製為所有(yǒu)自由度的振動提(tí)供出色的隔振、阻(zǔ)尼(ní)和定位性能
    MAPS 係列是一種主動(dòng)隔振裝(zhuāng)置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊(còu)的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設備中。

    應用行(háng)業:
    • 半導體

 

  • • MRZ係列-主動式氣懸浮係(xì)統



    在MAPS係列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主動(dòng)氣動懸架(jià)係統MRZ係列(liè)!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品是為精密儀器量(liàng)身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振係統(tǒng)構成的。
    我們的隔振裝置,除了具(jù)有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越(yuè)來越多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置(zhì)與精密儀器(qì)直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝置(zhì)就是我們的 AP 係列。該係列產(chǎn)品不僅擁有優越的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP係列產品可以為您的精密儀器提(tí)供更(gèng)為理想的隔振環境。

    應用行業(yè):
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產(chǎn)品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡係統
  • • 光(guāng)學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體製造和(hé)精密加工
  • • 納米表麵分析
  • • 地(dì)震和防災

 

埃賽力達的LINOS®光機(jī)器件使用高精密度的工(gōng)程技術和高級的材料,可確保在科學研究和光子(zǐ)創新中,提供出(chū)色的穩(wěn)定性、可調(diào)節(jiē)性和高性(xìng)能(néng)。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移台,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和(hé)耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和(hé)安裝板

埃賽力達的(de)LINOS®麵包板和安裝板係列可以作為所有光學實驗(yàn)裝置的開端。

 

LINOS可(kě)變光圈

埃(āi)賽力達是Qioptiq®的一員,可提(tí)供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構(gòu),可用於實驗裝置中嚴格的光控製。

 

LINOS Microbench光機工作台籠式係統

Microbench屬於(yú)原(yuán)先的籠式光機係列,小巧(qiǎo)緊湊,可精確居中,易於集成(chéng)和擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的光學和機(jī)械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經(jīng)過優化,可搭(dā)配使用(yòng)從18到31.5毫米直徑(jìng)的(de)光學器件。

 

LINOS鏡座(zuò)

鏡座是光學組件中不可或缺的元(yuán)件。埃賽力(lì)達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座,可滿足科學領域(yù)和工業領域(yù)的廣(guǎng)泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於(yú)矩形和圓柱形元件的支架,以及用於(yú)已安裝和未安(ān)裝(zhuāng)的光學器件或棱鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構建係列(liè),其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種類(lèi)豐富的精密LINOS®調整架,包括手動調節、線性調節、X-Y位移台、旋轉位移台和測(cè)角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌係統

LINOS®導軌係統可(kě)用(yòng)於構建光學工作台和光(guāng)束轉向係統。堅固的鋁合金上(shàng)的軸承表(biǎo)麵經過精密銑削(xuē),並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧(yǎng)化處理,使這些導軌係統(tǒng)成為線(xiàn)性、平麵甚至3維(wéi)結構的理想基座。

 

LINOS管(guǎn)式係統

埃賽力達還提供了封(fēng)閉的模塊化LINOS管式係統,用於要求較高的(de)不透光(guāng)、無塵的實驗裝置,這是對我(wǒ)們的LINOS® Microbench和Nanobench開方(fāng)式籠式光機係統的補充。

概覽 菲克科技 Feinixs - 提供用於(yú)精密定位的高速、高(gāo)精度、高穩定性運動控製產品 明立Meiritz - 一家生產隔振台和光學麵包板的製造商 EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品(pǐn)
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