2021年12月，靈感來自（zì）於一篇深圳中能高重複頻率X射線自由電子實驗站以及（jí）與中山大學合作的實驗（yàn）站配套建（jiàn）設的測試項目，仔細閱讀（dú）《激光等離子體13.5nm極紫外（wài）光刻光源進展》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關（guān）信息，萌發了搭建一個小型，低成本的桌（zhuō）麵型（xíng）eUV光源，市場能夠看到的光源如下：

大型自（zì）由電子X激光源(FEL模式（shì）)

ASML係（xì）統EUV光源(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司台式EUV光源（yuán）（LPP模式）

經過數個月（yuè）準備，先（xiān）期在廣州實驗室自製測試儀器，驗證實驗信號，完善實驗中的激光防護和安全條（tiáo）件，最（zuì）終在深圳實驗室實現13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下均實現信號（hào）輸出，令科（kē）藝公司在南中國大灣區首次（cì）獲得eUV激光源的輸出。展現（xiàn）了大灣區科（kē）技（jì）應用的（de）典型（xíng）特點：低成本，高效率，快速轉化的綜合科技轉化能（néng）力。

（早幾年哈工大本部采（cǎi）用DPP模式獲得X激光輸出，上（shàng）海光機所采用LPP模（mó）式（shì）獲得X激光輸出）

一起草17c 蜜桃桌麵型eUV光源(LPP模式)

由於所有實驗是非真空環境條件（jiàn）下進（jìn）行，激光（guāng）損耗和（hé）散射比較大，理論估計本次實（shí）驗數據如下：

1.輸出波長13.5nm

2.輻射總能量（liàng）：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測（cè）試裝備：26所特製5*5*5閃爍體+Thorlab光探測器2套（tào）（慢速高靈敏+高速低靈（líng）敏）

                  通用輻（fú）射計（jì）1套

@200W泵浦時信號

@60W泵浦（pǔ）時信號

輻射計信號

基於初步實驗過程，充分有效地鍛煉了我們團隊解決新問題的應變能力，也印證了一起草17c 蜜桃（yì）公司多年在激光應用領域豐厚的技術（shù）沉澱和靈活高效的操作手段。

未來，一起草17c 蜜桃公司也將繼續與中山大學及其相關（guān）夥伴共（gòng）同推進此項技術在超分辨成像儀器方麵做一些探索與貢獻。

伍慶華

2022-7-22於廣州